中企突破EUV光刻机关键技术，ASML态度逐渐转变

来源：淘生活问答时间：2022-08-17 15:56

　　嘴上说不需要，身体却很诚实！面对中国庞大的市场，欧美巨头们低下了头颅。

　　前段时间，佩老太去了一趟台湾省，引发了巨大的震动。作为美国科技巨头的苹果，立即要求台湾省供应商出货到大陆时，包装上必须标注“中国台湾”字样。这一动作被认为是对中国大陆市场的看重，或者是担心自身的利益受损。

　　在2021年，苹果登顶第一，成为中国智能手机市场的老大。中国也成为了苹果全球增长最快的市场，为苹果的业绩大涨做出了贡献。所以，对于这样一个巨大市场，苹果自然是非常重视。

　　其实，不少欧美企业一边是舍不得中国市场，一边却态度傲慢。比如光刻机巨头ASML，至今没有把最先进的EUV光刻机卖给我们。在我们准备自主研发，全面攻克技术时，ASML又冷嘲热讽说：“就算把图纸给我们，也造不出尖端的光刻机。”

　　不可否认，在全球光刻机领域，ASML是绝对的王者，可以说是一家独大。数据显示，在2020年，ASML拿下了63%的全球订单，高居第一，是第二名佳能的2倍多。而如果以销售额来计算，ASML的市场份额更是高达91%，佳能和尼康总共才9%。

　　这主要是归功于2010年ASML开始出货的EUV光刻机，这是行业目前最先进的光刻机，价格更加昂贵。最关键的是到目前为止，只有ASML能够生产，被它垄断了。

　　虽然制造一台光刻机的难度非常大，需要很多的技术和十几万的零部件，但对于ASML来说，它自身技术也没多少，完全也是一个组装厂。要不是当年台积电、三星等入股，通过技术加持，ASML也不见得能有今日的成就。

　　因此，当我国大力发展芯片产业，并致力于技术突破时，ASML又改变了态度，没有往日的傲气。

　　前段时间，有消息说美国正在考虑让ASML对中国大陆的出货限制扩大到DUV光刻机。对于这个说法，ASML总裁就直言中国已经成为全球半导体制造业的重要参与者，这有点为中国说话的意思。

　　但实际上，ASML总裁的态度之所以会出现大转弯，原因无非两点：利益和技术。

　　这几年，我国芯片需求非常大，已经成为了全球最大的芯片消费市场。随着美国的限制打压，我国企业纷纷开启“国产替代”，用国内的芯片来降低国外的依赖。这意味着我国将大量生产国产芯片，如此一来，对光刻机的需求就很大。

　　据ASML公布的财报显示，2022年第一季度来自中国大陆的营收占比在ASML全球占比达到34%，超过了三分之一，大陆市场的重要性不言而喻。据了解，ASML已经加大投资，扩招团队。这么重要的一个市场，ASML自然是不敢轻视。

　　当然，除了利益驱使外，还有一个很重要的点，那就是技术。虽然我们目前还造不出更先进的光刻机，但对于光刻机的各项技术，我们还是可以逐一突破的。

　　一台光刻机的核心技术无非就是光源、镜头和双工作台，目前ASML光刻机的光源技术来自美国企业，而镜头来自德国蔡司，这确实是全球最先进的镜头公司，应用于很多领域，我国暂时难以突破。

　　目前，国内首台高能同步辐射光源科研设备已经落地，而双工作台也在加速研发，相信用不了多久就能突破，届时我们的光刻机都可以用上。

　　除了这些外，我国还在光刻机的不少关键技术上实现了突破。据了解，前段时间，南京大学陆海和张荣教授团队研发出了宽禁带半导体pn结型EUV探测器，取得了世界领先。

　　探测器是EUV光刻机运行中非常关键的一个零部件，之前采用的都是Si基紫外探测器。如今我国研发出的这款探测器，效率更高，抗辐射能力更强，总之比之前的先进很多，可以说是光刻机领域的一个重大突破。

　　就在近日，我国又突破了一项关键技术。由上海传芯半导体公司研发出的“曝光成像结构、反射式光掩模版组及投影式光刻机”，已经获得了专利。这项技术可以提高EUV光刻机的分辨率和对比度，再次让其工艺获得提升。

　　毫无疑问，随着我国持续攻克光刻机的关键技术，明显让ASML公司着急了。因为我们的技术突破越多，ASML对我们的依赖越大。而且ASML也担心，我们将可能制造出先进光刻机，和它产生竞争。

　　因此，也能理解为什么ASML态度发生大转变，也难怪会对我们大规模出货，在今年一季度给我们出口了23台光刻机。

　　没有什么是一成不变的，当年ASML能够击败佳能、尼康等日本企业，未来也有企业能够击败ASML。所以，ASML为了利益，就加大出口，想占领更多市场份额。

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